
18項(xiàng)芯片無塵室操作須知您知道嗎?
18項(xiàng)芯片無塵室操作須知您知道嗎?芯片指內(nèi)含集成電路的硅片,,體積很小,,常常是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分,。
1 ,、處理芯片時(shí),必須戴上無纖維手套,,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,,遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗,方得繼續(xù)使用:
2 ,、任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子,。
3,、芯片清洗后進(jìn)行下一程序前,若被手指碰觸過,,必須重新清洗,。
4 、把芯片放置于石英舟上,,準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí),,若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,,并立即更換干凈的鑷子使用,。
5、芯片必須放置盒中,,蓋起來存放于規(guī)定位置,,盡可能不讓它暴露。
6 ,、避免在芯片上談話,,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,,請?zhí)貏e注意,防止上述動(dòng)作產(chǎn)生,,若芯片上沾有纖維屑時(shí),,用氮?dú)鈽寚娭?br />7、從鐵弗龍(Teflon)晶舟,,石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上,,取出芯片時(shí),必須垂直向上挾起,,避免刮傷芯片,,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片,。
8,、芯片上,若已長上氧化層,,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記,。
9,、操作時(shí),不論是否戴上手套,,手絕不能放進(jìn)清洗水槽,。
10、使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí),,務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),,不可使用塑料盒。
11,、擺置芯片于石英舟時(shí),,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進(jìn)氧化爐,。
12,、請勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被碰觸或有碎芯片污染,,必須重作清洗,。
13、手套,,廢紙及其它雜碎東西,,請勿留置于操作臺(tái),手套若燒焦,、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新,。
14、非經(jīng)指示,,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手,。
15、奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,,顏色,,聲響等請即通知相關(guān)人員。
16,、儀器因操作錯(cuò)誤而有任何損壞時(shí),,務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師。
17,、芯片盒進(jìn)出無塵室須保持干凈,,并以保鮮膜封裝,違者不得進(jìn)入,。
18,、無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入,。
芯片生產(chǎn)過程中對無塵室的潔凈度控制要求非常高,,對進(jìn)入風(fēng)淋室除塵過程要求也很高,。
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